氮化镓耿氏二极管最大输出功率及掺杂浓度计算

  1. 氮化镓耿氏二极管最大输出功率计算
  氮化镓材料同时具有相对比较大的电子跃迁阈值电场(250KV/cm)和相对比较高击穿电场(3MV/cm), 因此氮化镓耿氏器件可以在相对比较高的偏压下工作,同样也可产生相对比较高的输出功率。氮化镓耿氏器件可望解决传统转移电子器件在功率输出偏低方面的问题,其最大输出功率可作如下估算:
  在关于畴渡越假设的模型下,耿氏二极管器件有源区的长度L与器件振荡频率f的关系为: f=vsat / L,其中vsat为电子饱和漂移速度。由于半导体材料上的外加电场不能无限地增加,必须小于其击穿电场EB,因此器件上的最大偏压VD为:
计算公式1~4 
  对于一种确定的半导体材料来说,其EB和vsat都是常量,所以由某一确定材料制造的器件在高频工作时的最大输出功率受上式限制。在转移电子器件中,由于其偶极畴中的电场远高于其有源区中的平均电场,为避免器件击穿损坏,总偏压不宜过大,这就大大限制了转移电子器件在畴渡越时间模式下的最大输出功率。由于氮化镓材料的禁带宽宽大,临界击穿电场很高,所以在由氮化镓材料制作的转移电子器件可以在很高的偏压下工作,从而得到较高的输出功率。图1显示了基于氮化镓和砷化镓两种材料的转移电子器件在不同频率下PmZ的性能对比曲线。从图中可以看出:在相同工作频率和相同阻抗下,氮化镓转移电子器件的最大输出功率可达到砷化镓转移电子器件的600多倍。
氮化镓和砷化镓两种材料的转移电子器件PmZ与频率f的关系曲线 
图1 氮化镓和砷化镓两种材料的转移电子器件PmZ与频率f的关系曲线
 
  2. 氮化镓耿氏二极管掺杂浓度计算
  对于耿氏器件而言,在一定偏压下能否形成稳定的耿氏振荡,主要取决于其掺杂浓度浓度N与其相应的转移电子器件有源区长度L的乘积值以及临界掺杂浓度Nerit两个方面。
  1)在畴渡越模型下,因为畴的生长需要时间,在一定的掺杂浓度下,一个稳定畴的形成就需要器件具有一个最小的有源区长度。氮化镓耿氏器件要形成稳定的耿氏振荡,器件中畴的形成时间3τ(τ为介电弛豫时间)就应当小于畴经过器件有源区的渡越时间,由此可估算这个有源区的最小长度。
  具有微分负阻特性的半导体中畴的形成过程如下:现在设定氮化镓耿氏器件的电阻为R,电容为C,则有
计算公式5~7 
其中µndr称为负微分迁移率,对于氮化镓材料,它的值约为50cm2/(V.S);相对比砷化镓的µndr为2500cm2 /(V.S).空间电荷的生长可用以下方程表述:
DΔQ=ΔQ(0) exp(-t/τ)    (8)
其中ΔQ(0)表示在t=0时刻空间电荷中电荷量大小,τ的大小表征了空间电荷生长的快慢,而高场畴(偶极畴)实际形成的时间约为3τ。对于转移电子器件,高场畴在体内渡越的时间一定要大于等于其形成的时间,否则就不能形成稳定的耿氏振荡。因此,需满足t≥3τ,即:
计算公式9~10 
其中(NL)0是形成耿氏振荡的(NL)临界值,被称为耿氏转移电子器件的设计标准。
  2)耿氏二极管(转移电子器件)在畴渡越时间模式下产生的振荡频率f 约为:
计算公式11 
要想得到更高的频率就要减小L,因为有标准(NL)0的限制,L减小,N必然要增大,当N超过临界掺杂浓度Ncrit时,就会在有源区阳极附近形成静止畴,寄生静止畴的产生将会导致器件输出功率下降和器件过早地被击穿。为了避免形成静止畴,半导体材料的掺杂浓度应小于临界掺杂浓度Ncrit,临界掺杂浓度由下式给出:
计算公式12 
从上面的表述中可以得到下表:
表1 氮化镓和砷化镓材料的参数(NL)0和Ncrit
氮化镓和砷化镓材料的参数(NL)0和Ncrit 
从上表中可以看出氮化镓材料由于具有很高的临界电场,因此氮化镓材料具有很高的临界掺杂浓度Ncrit。同时由于氮化镓材料的载流子具有很高的峰值速度,并且其的负微分迁移率比较低,所以氮化镓材料相比砷化镓材料具有更高的(NL)0

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